近日，SEMICON China 2024 (上海国际半导体展览会)在上海新国际博览中心成功举行，吸引了国内外半导体从业者的目光。此次盛会上，华芯（嘉兴）智能装备有限公司（简称“华芯智能”）作为泛半导体领先的智能制造解决方案提供商之一，携AMHS软硬件解决方案及晶圆传输自动化亮相展会。据悉，华芯智能最新研发的第四代OHT飞兔，作为国产半导体AMHS天车实车出展，吸引了国内外客户驻足围观。

　　AMHS全称为自动物料搬送系统，负责在生产设备之间传输晶圆载具，是12寸硅片前后道的必备自动化传输系统，同时在8寸先进制程和6寸化合物半导体领域也广泛应用。

　　业内人士指出，作为掌握着核心生产流程和产线数据的软硬件系统，AMHS的国产化对半导体产业链自主发展有着重要战略意义。本次华芯智能展出12寸全自研OHT实机，既是对产品的自信，也是表明国产AMHS时机成熟，国产AMHS在该领域技术日趋完善。

　　华芯智能创始人兼总经理余君山介绍，2018年，公司首次和先进封测客户合作时，大陆尚无任何国产先例，公司研发团队从0号机开始实验，在Demo线上逐步验证，最终完成了高稳定性、高传输效率的国产半导体AMHS量产线大范围应用案例。

　　相较于传统自动化，半导体生产环境更为复杂，晶圆的传输条件更为苛刻。自动化在半导体Fab内，不再是单一流水线的含义，而是能够掌控上百甚至上千台车在上千道工序之间流转的全局调度系统，智能、柔性同样成为Fully Auto解决方案需要实现的关键点。

　　作为备受关注的国产AMHS厂商，华芯智能同样在软件上投入巨量研发资源，在高可靠的硬件产品基础上，实现软件上的弯道超车。2022年，经过多代研发迭代，华芯智能OHT已经满足前道先进制程的传输需求，首次导入国内前道Fab。得益于软硬件架构全自主以及量产线的实际运行数据积累，华芯智能产品相较于前代更有大幅提升，且能够根据晶圆厂产线特定需求实现定制化和专项优化，获客户好评。