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中科卓尔全面提速高端石英空白掩模版量产
2026-10-27 来源:经济参考网
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近日,成都中科卓尔智能科技集团有限公司(以下简称“中科卓尔”)完成数亿元B+轮融资交割,融资获得中银国际投资、济南产发集成电路、建投华科、江阴新国联及川流投资等多家产业资本与专业投资机构的共同支持。

中科卓尔表示,本轮融资将重点用于高端石英空白掩模版的核心工艺研发深化与量产产线建设。一方面加快超精密抛光、真空镀膜等核心装备与工艺结合的自主迭代;另一方面进一步打通从材料检测、精密抛光、真空镀膜到智能制造的全链条能力,加速推进公司从技术验证向规模化量产的跨越,全力满足国内下游光刻掩模版客户对稳定、安全供应链的迫切需求。

据介绍,中科卓尔成立于2018年,是空白掩模版创新引领者,聚焦掩模版基板与精密光学元件的研发、制造及销售,是同时构建“核心材料+关键工艺+智能制造”全产业链闭环的国家级高新技术企业与国家级专精特新“小巨人”企业。

目前,中科卓尔聚焦半导体与显示面板上游核心材料——空白掩模版(Blank Mask)的国产化。公司自主研制的磁控溅射镀膜装备获得首台套产品认定,建有掩模版基板企业技术中心和高新区中试平台,并与电子科技大学共建联合实验室,持续夯实从科研攻关到工程化应用的创新基础。 

中科卓尔表示,公司从成立之初就选择了核心工艺装备自主研发,装备自主带来的迭代速度、成本效率与工艺协同优势,正是中科卓尔能够率先推进高端石英空白掩模版量产攻坚的底层底气,也是本轮产业资本坚定下注的核心逻辑。随着多方资本与产业资源的协同加入,将进一步支持公司深化核心工艺与关键装备研发,加快科技成果产业化转化。

展望未来,中科卓尔表示将紧扣国家科技自立自强与制造强国战略导向,以此次B+轮融资为新起点,充分发挥中银国际投资、济南产发集成电路、建投华科、江阴新国联及川流投资等各方在资本支持、产业协同与资源整合方面的综合优势,持续深化超精密抛光与真空镀膜等核心技术攻坚,加速推动高端石英空白掩模版的国产化量产进程,尽快实现从技术验证到规模化稳定供货的跨越。(郑南)

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