在半导体领域，滤波器作为关键元件至关重要，近年来，新声半导体的国产BAW滤波器成绩斐然，年出货量超3亿颗，成为半导体行业焦点。而提供产能的，则是中国半导体领军企业华润微在南昌的代工线润芯感知。​

　　滤波器在通信设备中起着筛选特定频率信号的关键作用。随着通信技术向5G、Wi-Fi 6/7等方向发展，对滤波器性能提出了更高要求。FBAR（Film Bulk Acoustic Resonator，薄膜体声波谐振器）作为一种先进的滤波器技术，具有高功率耐受、小尺寸、低插入损耗、高带外抑制和可用于超高频等优点，成为通信领域研究和商用开发的热点。​

　　现代FBAR主要有四种核心结构。最早大规模量产的是博通的Swimming Pool+Air Frame结构，通过在硅衬底中蚀刻空腔提升声波共振效率和频率选择性，Air Frame 设计降低声学损耗。太阳诱电的结构则是在衬底上面形成类似气泡的空气腔，原理与博通类似。2016年出现的XBAW，以碳化硅衬底上外延生长的单晶AIN为压电薄膜，从而提高性能。2021年，国产射频新锐企业新声半导体提出自主创新的 D-BAW（Double Side Processed Bulk Acoustic Wave Technology，双面键合体声波技术）结构，为如今的国产BAW滤波器量产出货埋下伏笔。​

　　新声半导体的D-BAW结构具有诸多显著优势。它采用双面光刻、双面精细加工，能在上下两面电极边缘更灵活精准地加工形成各类 Frame 结构，高效抑制横向声波传播。通过双面键合形成空腔，实现结构悬空。该结构 MASK（光罩）层数更少，无需复杂补偿结构，降低了成本。同时，它突破材料限制，可使用多种衬底晶圆和压电材料。其AlN压电层极平坦，溅射镀膜质量更好，性能更优，还具备更高的机电转换效率。​

　　润芯感知作为南昌高新区参与投资的MEMS晶圆产线，核心运作团队源自拥有近二十年智能传感器制造经验的华润微电子，起点颇高。此前国产BAW滤波器受困于“样品可做，量产不可控”，而润芯感知率先实现了BAW大规模产品出货的突破。其生产的BAW由新声半导体负责设计，双方战略合作打造业界领先的D-BAW滤波器，形成自主设计与本土制造紧密协同的 “新模式”。​

　　供应链消息显示，润芯感知产线过去一年出货的新声D-BAW滤波器超3亿颗。这些产品已在主流品牌的手机和平板终端设备中稳定服役，部分型号还应用于多款国内外高端旗舰手机。在国产BAW滤波器出货量排名中，新声的D-BAW以显著份额优势位列第一，出货量规模远超其他竞争对手。​

　　在产品性能方面，润芯感知与新声协同开发的D-BAW 滤波器已全面对标国际先进产品。其采用新声首创的SiRoof封装方案，即完整硅帽+干膜有机键合，大幅增强了产品的耐用性和稳定性。并且，这些性能数据均来自润芯感知南昌产线实际批量制造、经过可靠性测试的量产品，标志着国产BAW滤波器已进入“性能可控、品质稳定、客户验证”的商业落地阶段。​

　　新声半导体自2021年3月成立以来，专注于声学滤波器和射频前端模组的设计与销售，拥有多种滤波器技术，可提供6GHz频率以下全频段的全系列产品。截至目前，公司已申请专利超过500项，授权发明专利超过170项。​（邹易）